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資料詳細

CVDハンドブック禁帯出

化学工学会／編集 -- 朝倉書店 -- 1991.6 -- 571.6

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
JSR	R/571.6/ｼ/	115998353	成人一般	持禁

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資料詳細

タイトル	CVDハンドブック
タイトルカナ	シーヴイディーハンドブック
著者	化学工学会／編集
著者カナ	カガクコウガクカイ
出版者	朝倉書店
出版年	1991.6
ページ数	800,18p
大きさ	22cm
一般件名	化学蒸着-便覧
ISBN	4-254-25234-X
分類記号	571.6
内容紹介	CVDは気体原料から薄膜や微粒子などの固体を合成する技術の総称であり、プロセスのどこかに化学反応が関係する。まだ十分に体系化が進んでいないCVDを専門とした、はじめてのハンドブック。

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