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超微細加工入門 貸出可

古川 静二郎／共著 -- オーム社 -- 1989.6 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549.7/ﾌ/ 112636493 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 超微細加工入門
タイトルカナ チョウ ビサイ カコウ ニュウモン
著者 古川 静二郎 ／共著, 浅野 種正 ／共著  
著者カナ フルカワ セイジロウ,アサノ タネマサ
出版者 オーム社
出版年 1989.6
ページ数 219p
大きさ 22cm
一般件名 集積回路
ISBN 4-274-03247-7 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.7

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