鈴木 八十二／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2008.10 -- 549.9

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2007.10 -- 549.9

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1999.10 -- 549.9

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1996.10 -- 549.9